Plasma FIB/SEM for room-temperature and cryogenic applications

Das neue Gerät bestehend aus einem Rasterelektronenmikroskop und einer Strahlquelle mit fokussiertem Plasma-Ionenstrahl soll sowohl für Anwendungen bei tiefen Temperaturen (gefrorenes biologisches Gewebe und empfindliche Proben wie z.B. Batteriematerialien) als auch bei Raumtemperatur (alle Arten von festem Material) verwendet werden. Das Gerät muss daher gleicherweise Raumtemperatur- und cryo-kompatibel sein, sowie ermöglichen, die Materialien unter Inertgas/Vakuum-Bedingungen zu transferieren. Bei den Hauptanwendungen handelt es sich um die Herstellung von dünnen Lamellen für die Untersuchung im Transmissions-Elektronenmikroskop und um die Herstellung von zylinderförmigen Proben für die Untersuchung mittels Röntgenstrahlung im Synchrotron. Weitere wichtige Anwendungen sind die Untersuchung von Materialoberflächen (inklusive mit dem Ionenstrahl hergestellte Querschnitte), die Herstellungen von 3D FIB-Tomogrammen und Prototyping. Die Möglichkeiten des Geräts sollen zudem durch ein Fluoreszenz-Lichtmikroskop und energiedispersive Röntgen-Spektroskopie ergänzt werden.