Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung

Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installiert werden, als auch 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen und die Einbindung davon in die Abluft. Für He muss zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufgebaut werden. Für die anderen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert, zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind nicht notwendig. Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung