Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1) Name und Adressen: Offizielle Bezeichnung: Westsächsische Hochschule Zwickau; Nationale Identifikationsnummer: nicht angegeben; Postanschrift: Kornmarkt 1; Ort: Zwickau; NUTS-Code: DED45; Postleitzahl: 08056; Land: Deutschland; Kontaktstelle(n): nicht angegeben; Telefon: +49 375-536-0; E-Mail: Beschaffungswesen@fh-zwickau.de; Fax: nicht angegeben; Internet-Adresse(n): Hauptadresse: www.fh-zwickau.de; Adresse des Beschafferprofils: nicht angegeben I.2) Gemeinsame Beschaffung: Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben I.3) Kommunikation: Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.evergabe.de/unterlagen/2568724/zustellweg-auswaehlen Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen: elektronisch via (URL): https://www.evergabe.de; I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts I.5) Haupttätigkeiten: Bildung Abschnitt II: Gegenstand II.1) Umfang der Beschaffung II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen; Referenznummer der Bekanntmachung: ÖA-EU 07-22 II.1.2) CPV-Code Hauptteil: 42990000; CPV-Code Zusatzteil: II.1.3) Art des Auftrags: Lieferauftrag II.1.4) Kurze Beschreibung: Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetron-Quellen. Anforderungen an die Gesamtanlage und Steuerung 1.1 Prozesskammer mit drei Sputterquellen und einer Ionenquelle 1.2 Schleuse mit Einzelsubstrat (Carrier) 1.3 Automatischer Rezeptablauf (Quellsteuerung, Bewegungssteuerung, Shuttersteuerung….) 1.4 Bei Multischichten müssen für jede Einzelschicht Zeit- und Quellleistungen vorgebbar sein (z.B. über ascii-Tabelle) 1.5 Protokollierung wesentlicher Prozessparameter (Drücke, elektrische Parameter der Quellen, Bewegungen, …) 1.6 Substratanforderungen • Durchmesser bis 150mm • Dicke bis 50mm (Mindestanforderung: 30mm) • Masse bis 1,5kg 1.7 Vakuum- und Prozessgasanforderungen • Vakuumerzeugung mit trockenlaufenden Pumpen • Prozesskammer: pEnd <10-6 mbar nach 24h Pumpzeit • Schleusenkammer: pEnd <10-5 mbar • Prozessgase: Ar, O2, N2 (für jedes Gerät jeweils einen eigenen Kanal) 1.8 Beschichtungsquellen • Konzentrische Anordnung von 3 zirkularen Beschichtungsquellen (Anordnung möglichst senkrecht zur Substratoberfläche und unter möglichst geringem Abstand) • Targetgröße: rund 100mm Durchmesser • Quellen 1 und 2: DC Magnetrons, die prinzipiell auch mit RF-Anregung betrieben werden können (d.h. Verwendung koaxialer Kabel); DC-Leistungsversorgungen: mind. 1kW, stabile Entladung mit Ar bis 1.10-3 mbar möglich • Quelle 3: RF-Magnetron; Leistungsversorgung: f=13,56 MHz, Pmax = 1,2…..1,5 kW • Grundausstattung mit folgenden Targetmaterialien: Al, Ti, Si mit Reinheiten ≥ 3N und Targetdicken = 5-6mm 1.9 Ätzquelle • RF-Ionenquelle, die auf den konfokalen Punkt der Anlage ausgerichtet ist 1.10 Substratbewegung • Eigenrotation mit f=1Hz • (Manuelle) Einstellung des Abstandes zwischen Substratmittelpunkt und konfokalem Punkt der Sputterquellen II.1.5) Geschätzter Gesamtwert: Wert ohne MwSt.: 460504,00 EUR II.1.6) Aufteilung des Auftrags in Lose: nein II.2) Beschreibung II.2.1) Bezeichnung des Auftrags: Los-Nr.: entfällt II.2.2) weitere CPV-Codes: nicht angegeben II.2.3) NUTS-Codes: DED45; Hauptort der Ausführung: Offizielle Bezeichnung: Westsächsiche Hochschule Zwickau - Hochtechnologiezentrum; Straße, Hausnummer: Peter-Breuer-Straße; Postleitzahl: 08056; Ort: Zwickau; Land: Deutschland II.2.4) Beschreibung der Beschaffung: Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetron-Quellen. Anforderungen an die Gesamtanlage und Steuerung 1.1 Prozesskammer mit drei Sputterquellen und einer Ionenquelle 1.2 Schleuse mit Einzelsubstrat (Carrier) 1.3 Automatischer Rezeptablauf (Quellsteuerung, Bewegungssteuerung, Shuttersteuerung….) 1.4 Bei Multischichten müssen für jede Einzelschicht Zeit- und Quellleistungen vorgebbar sein (z.B. über ascii-Tabelle) 1.5 Protokollierung wesentlicher Prozessparameter (Drücke, elektrische Parameter der Quellen, Bewegungen, …) 1.6 Substratanforderungen • Durchmesser bis 150mm • Dicke bis 50mm (Mindestanforderung: 30mm) • Masse bis 1,5kg 1.7 Vakuum- und Prozessgasanforderungen • Vakuumerzeugung mit trockenlaufenden Pumpen • Prozesskammer: pEnd <10-6 mbar nach 24h Pumpzeit • Schleusenkammer: pEnd <10-5 mbar • Prozessgase: Ar, O2, N2 (für jedes Gerät jeweils einen eigenen Kanal) 1.8 Beschichtungsquellen • Konzentrische Anordnung von 3 zirkularen Beschichtungsquellen (Anordnung möglichst senkrecht zur Substratoberfläche und unter möglichst geringem Abstand) • Targetgröße: rund 100mm Durchmesser • Quellen 1 und 2: DC Magnetrons, die prinzipiell auch mit RF-Anregung betrieben werden können (d.h. Verwendung koaxialer Kabel); DC-Leistungsversorgungen: mind. 1kW, stabile Entladung mit Ar bis 1.10-3 mbar möglich • Quelle 3: RF-Magnetron; Leistungsversorgung: f=13,56 MHz, Pmax = 1,2…..1,5 kW • Grundausstattung mit folgenden Targetmaterialien: Al, Ti, Si mit Reinheiten ≥ 3N und Targetdicken = 5-6mm 1.9 Ätzquelle • RF-Ionenquelle, die auf den konfokalen Punkt der Anlage ausgerichtet ist 1.10 Substratbewegung • Eigenrotation mit f=1Hz • (Manuelle) Einstellung des Abstandes zwischen Substratmittelpunkt und konfokalem Punkt der Sputterquellen II.2.5) Zuschlagskriterien: Die nachstehenden Kriterien: Qualitätskriterium - Name: Erfüllung der Leistungsparameter / Gewichtung: 60; Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 5; Qualitätskriterium - Name: Länger der Gewährleistung / Gewichtung: 15; Preis - Gewichtung: 20 II.2.6) Geschätzter Wert ohne MwSt.: 460504,00 EUR II.2.7) Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems: Beginn: 21.06.2022 / Ende: 30.09.2023; Dieser Auftrag kann verlängert werden: ja; Beschreibung der Verlängerungen: Sofern die Lieferung nicht im vereinbarten zeitraum erfolgen kann. II.2.9) Angabe zur Beschränkung der Zahl der Bewerber, die zur Angebotsabgabe bzw. Teilnahme aufgefordert werden: entfällt II.2.10) Angaben über Varianten/Alternativangebote: Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein II.2.11) Angaben zu Optionen: Optionen: ja; Beschreibung der Optionen: Optionen dürfen im Angebot angegeben werden. Allerdings sind diese nicht im endpreis einzurechnen II.2.12) Angaben zu elektronischen Katalogen: entfällt II.2.13) Angaben zu Mitteln der Europäischen Union: Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein; Projektnummer oder -referenz: II.2.14 Zusätzliche Angaben: Abschnitt III - Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben III.1) Teilnahmebedingungen III.1.1) Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister: Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen: Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des EU-Mitgliedstaates, in dem das Unternehmen ansässig ist. Sollte der Bewerber gemäß den Rechtsvorschriften des Landes, in dem er ansässig ist, nicht in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen sein, ist dieser Umstand mittels einer unterschriebenen schriftlichen Eigenerklärung zu erklären und diese Erklärung anstelle des Nachweises einzureichen. - Einheitliche Europäische Eigenerklärungen (EEE) werden ebenfalls akzeptiert. Der Auftraggeber behält sich vor Bescheinigungen zum Beleg der Angaben nachzufordern. Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder Bietergemeinschaft sind sämtliche Bedingungen auch für diese nachzuweisen. III.1.2) Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: - Unternehmensdarstellung: -- allgemeine Unternehmensdarstellung; -- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr; -- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde); -- Telefon-/Faxnummer und E-Mail-Adresse; -- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige; -- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.; -- Angaben zu den Umsätzen der letzte 3 Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten 3 Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches. - Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen; - Erklärung des Bieters zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 3); -- Nichtbestehen eines Insolvenzverfahrens oder eines vergleichbaren gesetzlichen Verfahrens; -- dass sich das Unternehmen nicht in Liquidation befindet; -- dass die Beiträge an die Berufsgenossenschaft ordnungsgemäß bezahlt werden; -- dass die Steuern ordnungsgemäß bezahlt werden; -- dass die Sozialversicherungsbeiträge für die Arbeitnehmer/innen ordnungsgemäß bezahlt werden; -- dass keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die meine/unsere Zuverlässigkeit als Bieter/in in Frage stellen; -- dass keine Person, deren Verhalten unserem Unternehmen zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist wegen § 129 des Strafgesetzbuches (Bildung krimineller Vereinigungen), §129a des Strafgesetzbuches (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuches (kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland), § 89c des Strafgesetzbuches (Terrorismusfinanzierung) oder wegen der Teilnahme an einer solchen Tat oder wegen der Bereitstellung oder Sammlung finanzieller Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuches zu begehen, § 261 des Strafgesetzbuches (Geldwäsche, Verschleierung unrechtmäßig erlangterVermögenswerte), § 263 des Strafgesetzbuches (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die von der Europäischen Union oder in deren Auftrag verwaltet werden, § 264 des Strafgesetzbuches (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die von der Europäischen Union oder in deren Auftrag verwaltet werden, § 299 des Strafgesetzbuches (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), § 108e des Strafgesetzbuches (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern, §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuches (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils auch in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuches (Ausländische und internationale Bedienstete), Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internationaler Bestechung (Bestechung ausländischer Abgeordneter im Zusammenhang mit internationalem Geschäftsverkehr) oder §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuches (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuches (Förderung des Menschenhandels). Einer Verurteilung nach diesen Vorschriften steht eine Verurteilung nach vergleichbaren Vorschriften anderer Staaten gleich. Das Verhalten einer rechtskräftig verurteilten Person ist einem Unternehmen zuzurechnen, wenn diese Person als für die Leitung des Unternehmens Verantwortlicher gehandelt hat; dazu gehört auch die Überwachung der Geschäftsführung oder die sonstige Ausübung von Kontrollbefugnissen in leitender Stellung. Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder Bietergemeinschaft sind die Erklärungen nach den §§ 123 und 124 GWB auch für diese zu erklären.; Möglicherweise geforderte Mindeststandards: entfällt III.1.3) Technische und berufliche Leistungsfähigkeit: Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: - Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren innerhalb der EU mit Kurzbeschreibung und Kontaktdaten des Auftraggebers als Bestätigung für hohe Qualität und Zuverlässigkeit des Gerätes (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern einzuholen).; Möglicherweise geforderte Mindeststandards: entfällt III.1.5) Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen: entfällt III.2) Bedingungen für den Auftrag III.2.1) Angaben zu einem besonderen Berufsstand (nur für Dienstleistungsaufträge): entfällt III.2.2) Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Der Bewerber erklärt, dass sein Unternehmen die: - Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit - Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen - sowie ggf. Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit und die Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen erfüllt. Die entsprechenden Formulare sind als Anlagen dieser Ausschreibung beigefügt. Im Falle einer beabsichtigten Zuschlagserteilung sind von dem Bestbieter diese Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb von 3 Werktagen über die e-Vergabeplattform („Nachrichten“) vollständig ausgefüllt einzureichen. Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen. III.2.3) Verpflichtung zur Angabe der Namen und beruflichen Qualifikationen der Personen, die für die Ausführung des Auftrags verantwortlich sind: entfällt Abschnitt IV Verfahren IV.1) Beschreibung IV.1.1) Verfahrensart: Offenes Verfahren. Beschleunigtes Verfahren: nein IV.1.3) Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem: nicht angegeben. IV.1.4) Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs: entfällt IV.1.6) Angaben zur elektronischen Auktion: Eine elektronische Auktion wird durchgeführt: nein; IV.1.8) Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA): Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2) Verwaltungsangaben IV.2.1) Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren: nicht angegeben IV.2.2) Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge: Tag: 03.06.2022; Ortszeit: 08:00 IV.2.3) Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber: nicht angegeben IV.2.4) Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch IV.2.6) Bindefrist des Angebots: Das Angebot muss gültig bleiben bis: 29.06.2022 IV.2.7) Bedingungen für die Öffnung der Angebote: Tag: 03.06.2022; Ortszeit: 10:00, Ort: ; Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren: Abschnitt VI Weitere Angaben VI.1) Angaben zur Wiederkehr des Auftrags: Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein; Voraussichtlicher Zeitpunkt weiterer Bekanntmachungen: nicht angegeben VI.2) Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen: Aufträge werden elektronisch erteilt VI.3) Zusätzliche Angaben: entfällt VI.4) Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1) Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren: Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen; Postanschrift: Postfach 101364; Ort: Leipzig; Postleitzahl: 04013; Land: Deutschland; E-Mail: post@lds.sachsen.de; Telefon: nicht angegeben; Internet-Adresse: nicht angegeben; Fax: nicht angegeben VI.4.3) Einlegung von Rechtsbehelfen: Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: VI.5) Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 29.04.2022 Industrietechnische Anlagen/ Ausrüstung,Labortechnik/ Messtechnik