EUV-Targets

Eignungskriterien

• Eigenerklärung Betriebs-/Berufshaftpflicht (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung)

  • •Die Deckungssumme ist mindestens mit dem Doppelten des Auftragswert abzusichern.
  • •Siehe im Dokument "02.Eignung_2600036013"

• ggf. Eigenerklärung Bietergemeinschaft (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Dritterklärung)

  • •BGB-Gesellschaft mit gesamtschuldnerischer Haftung mit Listung aller Mitglieder und deren bevollmächtigter Vertreter inkl. Nennung eines bevollmächtigten Vertreters, der die Arbeitsgemeinschaft gegenüber dem Auftraggeber rechtsverbindlich vertritt. Mit dem Teilnahmeantrag / Angebot ist eine von allen Gemeinschaftsmitgliedern rechtsverbindlich unterschriebene Erklärung abzugeben, dass die federführende Firma als bevollmächtigter Vertreter die aufgeführten Gemeinschaftsmitglieder gegenüber dem Auftraggeber vertritt und mit Wirkung für jedes Mitglied für die vertragsgemäße Ausführung der Leistung als Gesamtschuldner haftet.
  • •Siehe im Dokument "02.Eignung_2600036013"

• Eigenerklärung zur Verordnung (EU) 833/2014 (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung)

  • •Am 08.04.2022 hat der Rat der Europäischen Union die Verordnung (EU) 2022/576 zur Änderung der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 über restriktive Maßnahmen angesichts der Handlungen Russlands, die die Lage in der Ukraine destabilisieren, erlassen. Diese ist am 09.04.2022 in Kraft getreten. Sie entfaltet als Verordnung unmittelbare Rechtswirkung in den Mitgliedstaaten und hat direkte Auswirkungen auf die Vergabe öffentlicher Aufträge und Konzessionen.
  • •Siehe im Dokument "02.Eignung_2600036013"

• ggf. Verfügbarkeitserklärung (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung)

  • •Nur parallel zur "Erklärung Unterauftragnehmer" auszufüllen und vom Unterauftragnehmer zu unterzeichnen, sofern Teilleistungen an Unterauftragnehmer weitergegeben werden (Leistungsausführung durch Unterauftragnehmer) oder sofern sich der Bewerber bzw. Bieter für den Eignungsnachweis auf einen Unterauftragnehmer beruft (Eignungsleihe - siehe Formblatt Unterauftragnehmer). Sollen mehrere Unterauftragnehmer eingesetzt werden, so ist dieses Formblatt mehrfach zu verwenden. Pro einzusetzendem Unterauftragnehmer ist je eine Verpflichtungserklärung abzugeben.
  • •Siehe im Dokument "02.Eignung_2600036013"

• Weitere Angaben zum Bieter (Mit dem Teilnahmeantrag; Mittels Eigenerklärung)

  • •Im Zuge der Einführung neuer Anforderungen für EU-weit vergebene Aufträge (sog. eForms) sind öffentliche Auftraggeber ab dem 25.10.2023 verpflichtet, in Vergabebekanntmachungen (bisher Bekanntmachung über vergebene Aufträge) die unten aufgeführten Angaben zu den Auftragnehmern veröffentlichen.
  • •Vor diesem Hintergrund sind für jeden Bieter und bei Bietergemeinschaften für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft die im entsprechenden Formblatt aufgeführten Angaben zu machen und mit dem Angebot, im Fall vorgelagerter Teilnahmewettbewerbe mit dem Teilnahmewettbewerb einzureichen.
  • •Siehe im Dokument "02.Eignung_2600036013"

Zuschlagskriterien

• Preis: Preiskriterium für "Preis-Quotient-Methode"

• Geometrie des Targets, Option gemäß LV 1.2

  • •Es soll möglich sein auch folgende flüssige Metalle bzw. Legierungen zu nutzten (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung)
  • •- Bismuth (+2,5 BP)
  • •- Indium-Bismuth Legierung (+2,5 BP)
  • •- Gallium-Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP)
  • •- Indium-Zinn Legierung (+2,5 BP)

• Geometrie des Targets, Option gemäß LV 1.3

  • •Es soll möglich sein Feststoffe als Target zu nutzen, diese sollen zum Beispiel folgende sein (Gilt als Bewertungskriterium mit Punkten, ist aber keine zwingende Forderung):
  • •- Aluminium (+1 BP)
  • •- Kupfer (+1 BP)
  • •- Gold (+1 BP)
  • •- Silber (+1 BP)
  • •- Gadolinium (+1 BP)
  • •- Chrom (+1 BP)
  • •- Wolfram (+1 BP)
  • •- Molybdän (+1 BP)
  • •- Aluminiumoxid (+1 BP)
  • •- Siliziumnitrid (+1 BP)

• Detektor zur Messung der spektralen Amplitude, Option gemäß LV 10

  • •Angebotslegung für ein Gitterbasiertes Spektrometer zur Charakteri-sierung der spektralen Eigenschaften der EUV-Quelle. Die EUV-Kamera wird vom Anwender gestellt. Das Spektrometer muss fol-gende Parameter erfüllen:
  • •- Wellenlängenbereich: 5 nm bis 25 nm (2BP)
  • •- Auflösung: ?/??>100 (1BP) bzw. ?/??>400 (2 BP)
  • •- Spektrometer kalibriert mit Nachweis. Dieser Nachweis
  • •ist mit einzureichen. (2 BP)
  • •- Inklusive Shutter zum Schutz des Detektors (2 BP)
  • •- Anschlussflansch für den Detektionsport: KF 40 (1 BP)
  • •- Anschlussflansch für die EUV-Kamera: CF100 (1 BP)