Veröffentlichung 25.06.26 | Teilnahmefrist 24.07.26 |
Eignungskriterien
Angabe von mindestens drei in Art und Umfang vergleichbaren Referenzprojekten aus den letzten fünf Jahren, jeweils mit Kurzbeschreibung des Geräts, Angabe des Auftraggebers (Name + Kontaktdaten) und Jahresangabe der Leistungserbringung. Als vergleichbare Maschinen gelten Plasma-FIB Anlagen, welche Xenon als Gas nutzen. Reine Ionen-FIB Anlagen mit Gallium zählen hier nicht. Als vergleichbare Referenzprojekte gelten dabei Anlagen, welche in der Halbleiterfertigung bzw. Halbleiterforschung (Silizium, Galliumarsenid, Indiumphosphid, Galliumnitrid etc.) eingesetzt werden.
Darstellung der Firma Mindestangaben
Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre
Zuschlagskriterien
Technik
Nachhaltigkeit
Preis
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