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OV_LK_08-26-0654 Cz-Züchtungsanlage-Oxide-2027

Auftraggeber
Veröffentlicht
25.06.2026
Angebotsfrist
29.07.2026
Lieferung "frei Verwendungsstelle", Installation und Inbetriebnahme einer Cz-Züchtungsanlage für das Züchten von Oxid-Einkristallen. Darüber hinaus: Bereitstellung der Dokumentation, Abnahme (Werks- und Endabnahme), Service im Störungsfall. Die Anlage ermöglicht das Züchten von Oxid-Einkristallen, insbesondere von Ga₂O₃, aus der Schmelze mittels des Czochralski-Verfahrens. Es werden Kristalldurchmesser von mindestens 50 mm (2 Zoll) und maximal 100 mm (4 Zoll) sowie ein Kristallgewicht von bis zu 5 kg erreicht. Der Kristallwachstumsprozess findet in einer doppelwandigen, wassergekühlten Kammer aus Edelstahl statt, in der durch vorheriges Evakuieren und anschließendes Befüllen mit Gasen unterschiedliche Gasatmosphären eingestellt werden. Der Prozess wird bei einem Druck leicht über dem atmosphärischen Druck (ca. 20-50 mbar Überdruck) entweder in einer statischen oder einer strömenden Atmosphäre durchgeführt. Das Ausgangsmaterial in Form von Pulver, Granulat oder Schmelze (z. B. Ga₂O₃) befindet sich in einem Edelmetalltiegel (z. B. Iridium), der direkt durch eine Hochfrequenz-Induktionsspule beheizt wird, die sich im Inneren der Edelstahlkammer befindet. Der Kristallisationsprozess beginnt an einem Impfkristall, der von oben in die Schmelze getaucht wird. Um einen Volumenkristall zu bilden, wird das kristallisierte Material unter Rotation mit einstellbaren Ziehgeschwindigkeiten langsam aus der Schmelze herausgezogen.

Zeitplan

Veröffentlichung
25.06.26
Abgabefrist
29.07.26
Öffnung
29.07.26

Ausschreibung

Reichweite
EU-weit
Vergabeart
Offenes Verfahren
Erfüllungsort
Berlin, Deutschland
Vertragslaufzeit
12 Tage
E-Mail
vergabe@fv-berlin.de
Telefon
+49 30 200737502
Website
http://www.fv-berlin.de

Eignungs- & Bewertungskriterien

Eignungskriterien

  • Nachweis (im "Fragebogen zur Eignungspruefung") von mindestens einer Referenz, die folgende Leistung bestätigt

    • eine erfolgreiche Lieferung und Inbetriebnahme einer Schmelzzüchtungsanlage (z. B. Cz, FZ) für Halbleiter-Einkristalle bei Temperaturen > 1000°C von vergleichbarer Komplexität. Die Referenzen dürfen maximal aus den letzten 3 Jahren (Jahr der Inbetriebnahme) stammen (gerechnet rückwirkend ab dem Datum der Bekanntmachung zu dieser Ausschreibung).
    • Eine Referenz muss folgende Angaben enthalten:
    • a) Name des Auftraggebers
    • b) Jahr der Inbetriebnahme
    • c) Kurzbeschreibung des Auftrags
    • Wir behalten uns vor, für die ausgewählten Referenzen die Kontaktdaten des Referenzgebers von den Bietern gesondert nachzufordern. Sollte dieser Nachforderung nicht bis zur gewährten Frist nachgekommen sein, wird das Angebot von der Wertung zwingend ausgeschlossen. Referenzen, die einer Nachprüfung nicht standhalten, führen zum Ausschluss des Angebotes vom Vergabeverfahren.

Zuschlagskriterien

  • Preis

    • Als "Wertungspreis" gilt der Angebotspreis erhöht um Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 20 Jahre).
    • Ermittlung des "Wertungspreises" erfolgt DURCH DEN AUFTRAGGEBER anhand der Berechnungshilfe, die von der Senatsverwaltung für Wirtschaft, Energie und Betriebe erstellt wurde. Der von dem Bieter im Fragebogen angegebene Strombedarf des Systems in Watt wird in die Zeile "Strombedarf [Watt]" eingetragen (s. Berechnungshilfe "Nicht ausfüllen_Lebenszykluskosten_bei_strombetriebenen_Geräten").
    • (dieses Formular wird nur zu Ihrer Information beigefügt und wird ausschließlich durch den Auftraggeber ausgefüllt).
    • Bepunktung des Kriteriums "Preis":
    • Ein wertbares Angebot mit dem niedrigsten Wertungspreis bekommt für dieses Kriterium 100 Punkte.
    • Ein anderes wertbares Angebot X mit einem höheren Wertungspreis erhält die Punkte für dieses Kriterium nach der folgenden Formel: (niedrigster Wertungspreis / Wertungspreis des Angebots X) * 100.
    • Das Angebot mit der höchsten erreichten Gesamtpunktezahl erhält den Zuschlag.
    • Beim Punktegleichstand entscheidet das Los.

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