Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Zuschlag erteilt am 27. März 2026
- ASM Europe B.V., ALMERE
Veröffentlicht
27.03.2026
Bekanntmachungsart
Zuschlagsbekanntmachung
Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Zeitplan
Veröffentlichung 27.03.26 |
Ausschreibung
Reichweite
EU-weit
Vergabeart
Offenes Verfahren
Erfüllungsort
Frankfurt (Oder), Deutschland
E-Mail
vergabestelle@ihp-microelectronics.com
Telefon
+49 335-5625337
Eignungs- & Bewertungskriterien
2 ZuschlagskriterienZuschlagskriterien
Preis
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Vergabeunterlagen
Eigenerklärung78 KB32 Seiten
Eignungskriterien37 KB6 Seiten
Preisblatt203 KB2 Tabellen
Projektplan89 KB24 Seiten
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