IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS

Dyson V15s Detect SubmarineTM Nass- und Trockensauger

Testsystem für Integrierte Schaltungen entsprechend beigefügter Technischer Spezifikation und folgenden Anforderungen: - Tester-Hardware - Tester-Software mit Lizenz für alle Features oder pro Feature 1 Lizenz jeweils über 4 Jahre - PC/Workstation, falls zum Betrieb der Tester-Hardware notwendig - Ausrüstung für Kalibrierung und Selbsttest

A-2 Leistungsbeschreibung 4/31 1 Hinweise zur vorliegenden Ausschreibung 1.1 Leistungsgegenstand und Objektbeschreibung Die IHP GmbH (Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik) ist aus dem Institut für Halbleiter- physik Frankfurt (Oder) hervorgegangen. Das Institut hat sich die Aufgabe gestellt, die Region Ostbrandenburg als High-Tech-Standort zu etablieren und durch Innovationen Arbeitsplätze zu schaffen. Als Mitglied der Wissenschaftsgemeinschaft Gottfried Wilhelm Leibniz erfolgt die Grundfinanzie- rung der IHP GmbH durch Bund und Land. Das IHP beschäftigt derzeit rund 300 Mitarbeiterin- nen und Mitarbeiter aus 30 Ländern. Die Kernkompetenz liegt im Bereich der Mikroelektronik: Prozesstechnologie, Schaltkreisentwurf und Systeme, einschließlich Bereitstellung von Prototy- pen. Im Jahre 2000 hat die IHP GmbH einen Neubau im Technologiepark Ostbrandenburg in Frank- furt (Oder) bezogen, der aus einem Reinraum (1.000 Quadratmeter der Klasse 3 nach DIN EN ISO 14644-1), vier Büro-/ Laborgebäuden und einem Verwaltungs- und Servicetrakt besteht (7.390 Quadratmeter Hauptnutzfläche). In den folgenden Jahren wurden Ausstattungen und technische Anlagen teilweise erweitert und umgebaut. Die Arbeit im Reinraum erfolgt planmäßig im durchgehenden Schichtsystem. Die Kernarbeitszeit des Institutes findet von 8:00 - 17:00 Uhr statt. Die IHP GmbH betreibt Forschungs- und Entwicklungsprojekte mit einer Vielzahl von Firmen, Forschungseinrichtungen und Instituten deutschland- und weltweit. Derzeit werden die Reinraumflächen in einem Neubau erweitert, sodass im Jahr 2020 nochmals ca. 500 m2 Reinraumfläche zur Verfügung stehen. Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist die einheitliche Vergabe der Unterhalts-, Rein- raum- und Grundreinigung in der Liegenschaft des AG Frankfurt Oder. In diesem Rahmen schreibt die IHP GmbH das Objekt Frankfurt (Oder) mit ca. 22.000 m2 Gesamtreinigungsfläche in vier Titeln aus. Eine differenzierte Aufstellung der Gebäudeteile und Flächen kann dabei der Anlage sowie den folgenden Ausführungen entnommen werden. Hierzu sind die Leistungen zusammengetragen und zu dieser Leistungsbeschreibung zusam- mengefasst worden. Alle zu reinigenden Flächen und zu erbringenden Dienstleistungen sind er- fasst und mit einem der Nutzung entsprechenden Reinigungsstandard und -zyklus bzw. Intervall und Qualitätsstandard hinterlegt. Die Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL/B) werden Bestandteil des Vertrages

Die IHP GmbH betreibt am Standort Frankfurt (Oder) einen Reinraum im 24/7 Schichtbetrieb, mit einer industrienahen Produktion. Daraus leitet sich eine ständige Verfügbarkeit der eingesetzten Chemikalien am Standort ab. Zur Sicherung des unterbrechungsfreien Betriebes möchte das IHP daher ein externes Chemikalienlager vertraglich binden.

Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an. Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines FIB/SEM-Gerätes mit Zusatzkomponenten siehe Leistungsbeschreibung

Process Design Kit Development for open source Magic tool chain and tool Feasibility study Introduction: IHP is developing an open source PDK based on an toolchain open EDA tool klayout. Details and status are available under https://github.com/IHP-GmbH/IHP-Open-PDK. As a second option an open PDK based on Magic VLSI layout tool (http://opencircuitdesign.com/magic/) should be developed. IHP want to outsource a major part of this task. Further feasibility studies to implement further features in the open source design flow should be performed. Requirements: IHP is seeking qualified suppliers to undertake following tasks: - Generating a technology file for the Magic layout tool, with all sections including but not limited to drawn layer definitions - Setup DRC an deck - Setup GDS input and output definitions and LEF layer definitions - Setup Tcl script library of parametrized cells for all IHP SG13G2 devices - Setup file for the Netgen tool for the purpose of running LVS - Setup an extraction deck for magic that includes both device extraction and parasitic extraction. The parasitic extraction should include coefficients for Magic's parasitic capacitance and resistance extraction models, including typical, high, and low corners, based on IHP data describing the process stack up. Finally additional files and tool development for supporting the IHP SG13G2 process within the context of a full open-source analog and mixed-signal design flow need to be provided. In addition to this, supplier should investigate the availability of open-source tools for thermal analysis, electromigration analysis, and I-R drop analysis, and understand how to support such tools for use with the IHP SG13G2 process. It is expected that a detailed concept is delivered for the three feasibility topics projects together with an time and budget estimation. Expected Results: Qualified suppliers are invited to submit their proposals. A quotation should include possible timeline and budget per following tasks. 1. Preliminary PDK components, analog flow and documentation 2. DRC deck for Magic 3. LVS deck for Magic and Netgen 4. RCX deck for Magic 5. Parameterized cells for Magic 6. Tech file for Magic 7. Setup Analog flow 8. Analog flow documentation page 2 Feasibility studies: 1. Feasibility study on on open source thermal analysis and integration in developed analog design flow 2. Feasibility study on electromigration reliability analysis and integration in developed analog design flow 3. Feasibility study on I-R drop analysis and integration in developed analog design flow

Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist die einheitliche Vergabe der Empfangs- und Sicherheitsdienstleistungen in der Liegenschaften IHP01 und IHP02 in Frankfurt (Oder).

Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an. Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.