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Metrology SEM+FIB system
Auftraggeber
Veröffentlicht
28.07.2026
Angebotsfrist
07.09.2026
The main purpose of this FIB/SEM equipment is to perform material milling (cutting), 3D characterization, and cross section analysis of epitaxially grown InP, InGaAs, InAlGaAs and InGaAsP layers on InP substrates. The structures may also contain polymer-based planarization layers, SiOx or SiNx dielectric layers and TiPtAu or NiGeAu metal layers. Levering van één SEM +FIB systeem
Zeitplan
Veröffentlichung 28.07.26 | Fragenfrist 17.08.26 | Abgabefrist 07.09.26 | Öffnung 07.09.26 |
Ausschreibung
Reichweite
EU-weit
Vergabeart
Offenes Verfahren
Geschätzter Wert
1.300.000 €
Erfüllungsort
Den Haag, Deutschland
Vertragslaufzeit
48 Tage
E-Mail
arjan.verhoeven@tno.nl
Telefon
+31 888665653
Website
http://www.tno.nl
Eignungs- & Bewertungskriterien
1 ZuschlagskriterienZuschlagskriterien
Prijs
- •TNO heeft alle relevante kwaliteitsaspecten volledig en objectief vastgelegd als minimumeisen. Hierdoor bestaat er geen ruimte voor kwalitatieve differentiatie tussen de inschrijvingen en kan de vergelijking derhalve op transparante wijze uitsluitend op basis van prijs plaatsvinden.
- •Naar het oordeel van TNO is het hanteren van het gunningscriterium laagste prijs binnen deze aanbestedingsprocedure dan ook juridisch verdedigbaar en in overeenstemming met de beginselen van proportionaliteit, zorgvuldigheid en transp
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Vergabeunterlagen
Vertragsentwurf156 KB12 Seiten
Kalkulation78 KB2 Tabellen
Konzeptvorlage37 KB4 Seiten
Vertragsbedingungen203 KB8 Seiten
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